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碳化硅
碳化硅涂层是指采用物理或化学气相沉积、喷涂等方法在零件表面制备SIC涂层的方法。
SiC具有优异的物理化学性能,如高熔点、高硬度、耐腐蚀、抗氧化等,特别是在1800-2000℃范围,具有良好的抗烧蚀性能,因此,在航空航天、兵器装备等领域具有广阔的应用前景。但SiC本身不能作为结构材料使用,所以通常采用制备涂层的方法,以利用其耐磨性以及抗烧蚀性。
01
One
碳化钽
02
Two
碳化钽是浅棕色金属状立方结晶粉末,属于氯化钠型立方晶系。也用碳化钽做硬质合金烧结晶粒长大抑制剂用,对抑制晶粒长大有明显效果,密度为14.3g/cm3。不溶于水,难溶于无机酸,能溶于氢氟酸和硝酸的混合酸中并可分解。抗氧化能力强,易被焦硫酸钾熔融并分解。导电性大,室温时电阻为30Ω,显示超导性质。用于粉末冶金、切削工具、精细陶瓷、化学气相沉积、硬质耐磨合金刀具、工具、模具和耐磨耐蚀结构部件添加剂,提高合金的韧性。碳化钽的烧结体显示金黄色,可作手表装饰品。
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碳化硅基半导体制程系列
SiC单晶生产TaC涂层坩埚
TaC涂层托盘
TaC涂层喷管
TaC涂层隔热屏
Solid SiC 盘、环
Solid SiC 载片器
4寸多片石墨盘(CVD SiC涂层)
6寸单片石墨盘(CVD SiC涂层)
PECVD舟架(CVD SiC涂层)
SiC芯片外延成套石墨零部件(CVD SiC涂层)CVD SiC涂层石墨发热体
SiC陶瓷刻蚀盘(CVD SiC涂层)
光伏制程系列
SiC涂层C/C导流筒
SiC涂层C/C坩埚
SiC涂层C/C盖板
SiC涂层C/C隔热屏
PECVD舟架
CVD SiC涂层石墨片(C/C片)
航天航空抗烧蚀涂层材料
SiC涂层抗氧化耐烧蚀材料
TaC涂层超高温耐烧蚀材料
HfC涂层超高温耐烧蚀
ZrC涂层超高温耐烧蚀
LED、Micro/Mini LED制程系列
2~4寸多片石墨盘
4寸多片石墨盘
6寸多片石墨盘
Skirts 盘
硅基半导体制程系列
ICP刻蚀盘
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