产品中心
product center
公司简介
Company Profile
湖南兴晟新材料科技有限公司是一家专业从事高温、高纯、耐腐蚀材料与制品研发及生产的企业,依托多位行业专家的紧密合作,开发出了适合实际生产的涂层制备工艺与装备,拥有CVD SiC涂层、TaC涂层及陶瓷基复合材料生产的核心技术。公司为LED、光伏、半导体、冶金、电子等行业的MOCVD装备、单晶硅炉、PECVD炉、单晶SiC炉、单晶CaN炉及第三代半导体外延炉、氧化炉、离子注入机、刻蚀机提供耐温、耐腐、高纯零部件/耗材,并为用户产品质量优化、设备改造提供高温高纯材料/零部件解决方案。
高性能CVD SiC、CVD TaC涂层系列产品
HIGH-PERFORMANCE CVD SIC、CVD TAC COATED SERIES PRODUCTS
lLED业:SiC涂层石墨托盘、Skirts
l光伏业:SiC涂层C/C复合材料导流筒、坩埚、盖板、隔热屏、PECVD舟架
l半导体:Si、SiC、GaN芯片外延基座/隔热罩/过渡件/、氧化炉内村管/工艺炉管、 TaC涂层单晶 SiC制备用坩埚/工装/隔热屏、Solid Sic盘/管/载片器
l冶金业:SiC涂层C/C复合材料,陶瓷基复合材料坩埚、热场、料盘、架/管/舟
SiC单晶生产TaC涂层坩埚
TaC涂层托盘
TaC涂层喷管
TaC涂层隔热屏
Solid SiC 盘、环
Solid SiC 载片器
4寸多片石墨盘(CVD SiC涂层)
6寸单片石墨盘(CVD SiC涂层)
PECVD舟架(CVD SiC涂层)
SiC芯片外延成套石墨零部件(CVD SiC涂层)CVD SiC涂层石墨发热体
SiC陶瓷刻蚀盘(CVD SiC涂层)