湖南兴晟新材料科技有限公司
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HUNAN XINGSHENG NOVEL MATERIALS TECHNOLOGY CO.,LTD
Solid SiC 盘、环
SiC涂层CC隔热屏
6寸单片石墨盘（CVD SiC涂层）
SiC涂层CC隔热屏
TaC涂层坩埚
4寸多片石墨盘
SKIRT
圆盘
圆环
5、良好的化学稳定性与耐腐蚀性
能抵抗各种酸(HF除外)、碱、盐及有机溶剂的腐蚀，不会产生化学反应
6、较长的使用寿命
CVD SiC涂层产品的寿命是市场常见无涂层产品的2-3倍
7、外观质量
外观表面光洁平整，无裂痕，无疵点。
8、按需定制
按用户需求定制各种非标陶瓷符合材料及其SiC/TaCc涂层制品。
1、超高的纯度
CVD SiC涂层的杂质含量为ppm、ppb级
2、优异的耐热震性能
热膨胀系数小且可调节，能够抵抗急冷急热。
3、优异的抗氧化、抗硅化性能
SiC涂层可有效隔离氧、硅与炭素热场材料接触，有效房子产品氧化、硅化。
4、优异的耐磨损性能
表面SiC涂层硬度高，可显著减少炭素热场材料的磨损，产品寿命大幅度提高。
产品特点
SiC单晶生产TaC涂层坩埚
TaC涂层托盘
TaC涂层喷管
TaC涂层隔热屏
Solid SiC 盘、环
Solid SiC 载片器
4寸多片石墨盘（CVD SiC涂层）
6寸单片石墨盘（CVD SiC涂层）
PECVD舟架（CVD SiC涂层）
SiC芯片外延成套石墨零部件（CVD SiC涂层）CVD SiC涂层石墨发热体
SiC陶瓷刻蚀盘（CVD SiC涂层）
